高速掃描電子顯微鏡
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產(chǎn)品名稱:
高速掃描電子顯微鏡
產(chǎn)品型號(hào):
HEM6000
產(chǎn)品展商:
REANOW/雷若科技
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
高速掃描電子顯微鏡采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率。
高速掃描電子顯微鏡 的詳細(xì)介紹
HEM6000是一款可實(shí)現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率。
高速掃描電子顯微鏡面向應(yīng)用場(chǎng)景的自動(dòng)化操作流程設(shè)計(jì)，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。
圖像采集速度
10 ns/pixel，2*100 M pixel/s
加速電壓
100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式)
分辨率
1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE
視場(chǎng)大小
*大視場(chǎng)1*1 mm2，高分辨微畸變視場(chǎng)32*32 um2
樣品臺(tái)精度
重復(fù)定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um
高速掃描驅(qū)動(dòng)器
駐點(diǎn)時(shí)間10 ns/pixel，
*快采集速度2*100 M pixel/s
電子過濾系統(tǒng)
SE/BSE信號(hào)自由切換，
MIX成像信號(hào)比例可調(diào)
全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)
可實(shí)現(xiàn)高分辨大場(chǎng)模式，
4 nm像素點(diǎn)*大視場(chǎng)達(dá)32*32 um2
樣品臺(tái)減速技術(shù)
降低入射電子落點(diǎn)電壓，
同時(shí)提高回收電子的收集效率
浸沒式電磁復(fù)合物鏡
物鏡磁場(chǎng)浸沒樣品
實(shí)現(xiàn)了低像差高分辨率
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
高速自動(dòng)化
全自動(dòng)上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的 5 倍
大場(chǎng)低畸變
跟隨掃描場(chǎng)動(dòng)態(tài)變化的光軸，實(shí)現(xiàn)了更低的場(chǎng)邊緣畸變
低壓高分辨
樣品臺(tái)減速技術(shù)，實(shí)現(xiàn)低落點(diǎn)電壓，同時(shí)保證高分辨率
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體工業(yè)
生命科學(xué)
材料科學(xué)
地質(zhì)科學(xué)
應(yīng)用案例
芯片（金屬層）/ 116x / BSE / 120 ns
芯片（器件層） / 2000x / BSE / 40 ns
芯片（金屬層）/ 1200x / BSE / 120 ns
芯片（器件層） / 1200x / BSE / 120 ns
生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 116x / BSE / 120 ns
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指標(biāo)
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HEM6000
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常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
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像素尺寸(單張)
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8192*8192
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像素點(diǎn)時(shí)間
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120 ns（點(diǎn)/行/幀平均數(shù)：6/2/1）
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800 ns
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像素大小
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16 nm
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拍攝總面積
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2 mm2
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拍攝總時(shí)間
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25分32秒
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>140分
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產(chǎn)品參數(shù)
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關(guān)鍵參數(shù)
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分辨率
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1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
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2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
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加速電壓
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100 V~6 kV(減速模式)
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6 kV~30 kV(非減速模式)
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放大倍率
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66~1,000,000x
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電子槍類型
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高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
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物鏡類型
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浸沒式電磁復(fù)合物鏡
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樣品裝載系統(tǒng)
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真空系統(tǒng)
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全自動(dòng)控制，無油真空系統(tǒng)
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樣品監(jiān)控
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樣品倉(cāng)監(jiān)控水平攝像頭 ； 換樣倉(cāng)監(jiān)控垂直攝像頭
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樣品*大尺寸
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直徑4英寸
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樣品臺(tái)
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類型
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電機(jī)驅(qū)動(dòng)3軸樣品臺(tái)（*可選配壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)）
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行程
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X、Y軸：110mm；
Z軸：28mm；
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重復(fù)定位精度
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X軸：±0.6μm；
Y軸：±0.3μm；
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換樣方式
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全自動(dòng)控制
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換樣時(shí)間
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＜15 min
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換樣倉(cāng)清洗
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全自動(dòng)控制等離子清洗系統(tǒng)
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圖像采集與處理
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駐點(diǎn)時(shí)間
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10 ns/pixel
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圖像采集速度
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2*100 M pixel/s
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圖像大小
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8K*8K
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探測(cè)器和擴(kuò)展
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標(biāo)配
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鏡筒內(nèi)混合電子探測(cè)器
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選配
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低角度背散射電子探測(cè)器
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鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測(cè)器
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壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
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高分辨大場(chǎng)模式
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樣品倉(cāng)等離子清洗系統(tǒng)
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6英寸樣品裝載系統(tǒng)
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主動(dòng)減震臺(tái)
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AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu)
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軟件
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語言
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中文
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操作系統(tǒng)
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Windows
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導(dǎo)航
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光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航
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自動(dòng)功能
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自動(dòng)樣品識(shí)別、自動(dòng)選區(qū)拍攝、自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散
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